بررسی ساختار داخلی شتاب سنج
طراحی یک شتاب سنج خازنی بر مبنای فناوری میکروماشینکاری در این مقاله ارائه گردیده است. از میان انواع مبدلها در این مقیاس از نوع خازنی آن استفاده شده است. این طراحی شامل مدار رابط نمی باشد و به طراحی مکانیکی شتاب سنج محدود شده است.. طراحی برمبنای MUMPs صورت گرفته است . که یک روش ماشینکاری سطحی 2 پلی سیلیکان است،. محدودیتهای ابعادی در روش ساخت پارامترهای حسگر برای رسیدن به مشخصات شتاب سنج برای کاربرد در خودرو بدست آمده است. برای رسیدن به پهنای باند مورد نیاز و افزایش پایداری سیستم از مدار بازخورد (معادل ضریب فنر منفی) استفاده شده است. سختی فنر تعلیق جرم محک 3 به روش تحلیلی بدست آمده و صحت این رابطه با شبیه سازی المان محدود ارزیابی شده است. پارامترهای عملکردی دیگر چون میزان تحمل شوک و حساسیت عرضی که روابط تحلیلی دقیق آنها پیچیده است با شبیه سازی المان محدود بدست آمده اند.
حجم 280 کیلو بایت
برای دانلود به ادامه مطلب بروید
